Edwards爱德华VIV真空快速隔断阀--A50637500

Edwards爱德华VIV真空快速隔断阀

-应用方向

– 在分子泵和/或工艺腔体必须防止蒸汽或气体回流的情况下使用

– 当前级泵停止或被停止时，VIV保护工艺腔体不被破空

– 典型可推荐用VIV的泵为：nXDS、XDS、nXLi和nXRi等干式前级泵

– 单相交流电源和24伏直流电压可选，可适用于大多数应用

▪ 功能

– VIV真空隔离阀是一个高流导（11–126 l/s）、快速动作（<0.1 s）的高真空隔离阀，它能

在前级泵因电源故障而立即停止或故意停止时快速动作隔离上游管路

– 当VIV关闭时，前级泵可以安全破空

– 当前级泵重新启动时，当VIV内的压力下降（<200mbar）时，阀门将缓慢（<15s）打开，

从而将任何压力突然变化的影响降至Z低

– 使用VIV Link可与nXDS，nXLi，nXRi进行连锁，保护系统安全

可选配置

▪ VIV阀，电压选项：单相 110V/220V 和24V d.c.

▪ 单相供电的VIV阀的电源应与泵并联，只有在停电使泵停止时才会闭合。断电后，随着压力下降，阀门打开

注意! – 当使用单相电供电的VIV阀, 阀的电压必须和主电源相匹配

▪ 对于更好的保护真空系统, 24V d.c. 的型号推荐使用