PicoFemto透射电子显微镜样品杆预抽存储系统详细内容
透射电子显微镜样品杆预抽存储系统(T-staion)由内置进口分子泵组、样品杆预抽室及触摸显示屏组成。适用于各品牌透射电镜样品杆,保证样品杆长期处于高真空状态,减少进样预抽时间。可升级等离子清洗功能,实现对样品杆或MEMS芯片的清洗。
性能指标
兼容各厂家样品杆
分子泵组:ISO/CF63 84L/sec
极限真空:5 X10-5 Pa
插杆位:4个杆位,可独立放气。
触摸屏:实施显示预抽室真空度,一键开关。
可升级等离子清洗功能(需提前预留接口)
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