PicoFemto透射电镜原位MEMS低温电学测量系统

 透射电镜原位MEMS低温电学测量系统是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能。

性能指标
 
透射电子显微镜指标：
● 兼容*型号电镜及较靴；
● 单倾可选高倾角版本；
● 可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于较靴）；
● 测量电极数可选。
 
电学测量指标：
● 包含一个电流电压测试单元；
● 电压输出Z大±200 V，Z小±100 nV；
● 电流测量Z大±1.5 A，Z小100 fA；
● 恒压或者恒流模式；
● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。
 
低温指标：
● 兼容MEMS加热及电学芯片；
● 全温区测量，温度范围：85 K- 380 K；
● 控温稳定性：优于±0.1 K；
● 温度连续可控。