PicoFemto透射电镜原位高温力学测量系统

PicoFemto透射电镜原位高温力学测量系统
 
     同时集成了力学测量模块及MEMS芯片模块，可以在对样品1000 ℃加热的同时进行定量的力学测量。MEMS芯片模块上可以选择加热芯片，也可以选择电学测量芯片。力学测量模块可以选择不同载荷的传感器，满足不同实验需求。
        该产品实现了透射电镜中真正意义上的高分辨定量原位高温力学研究。

性能指标
 
 透射电镜指标：
● 兼容*电镜型号及较靴；
● 部分型号电镜可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于较靴间距）；
 
 
力学传感器指标：
● 醉大载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；
● 力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN醉大载荷时）；
● 力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN醉大载荷时）；
● 自动测量力-距离曲线，自动保存。
 
加热指标：
● 温度控制范围：室温至1000 ℃；
● 温度准确度：优于5%；
● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。

扫描探针操纵指标：
● 粗调范围：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm；
● 细调范围：XY 方向20 um，Z 方向 10 um；
● 细调分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm。
 
产品特色
 
（1）**大力学测量及温度控制范围；
（2）多场下的力学研究。